双排全幅宽无间隔布局快速蒸发ZnS镀膜技术的研究

• 作者: 罗军文
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 蒸发舟 无间隔布局 气体均匀分配器 镀膜
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 页码范围: 41-43
• 页数: 3页
• 分类号: TB79|TB43
• 字数: 2117字
• 语种: 中文

摘要

本文详细介绍了双排全幅宽无间隔布局快速蒸发 ZnS镀膜技术的工作原理、结构组成、性能特点和创新设计要点。分析并指出影响 ZnS镀膜质量、生产效益的主要因素和解决途径。重点论述了提高ZnS镀膜速度和膜层均匀性的科学依据，解决了当前高档激光防伪膜制作中出现的镀膜效率低、均匀性差、光学性能不稳定等难题。首创折回式条带状折槽形式 Mo蒸发舟和蒸发气体均匀分配器结构及独特的蒸发舟双连排全幅宽无间隔连续排列布局，使 ZnS镀膜速度达到400 m/min以上，整个幅宽面镀膜的均匀性控制在5％以内。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗军文		2	1	1.0	1.0