接触式电容微加速度传感器的设计与分析

• 作者: 刘妤 陈松 顾雯雯
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS加速度传感器 接触式 电容传感 圆膜片
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 化学与物理类传感器
• 页码范围: 158-161
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.02.002

摘要

设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构，建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在载荷作用下与基底“接触”前后的简化分析模型，并给出了接触半径的计算公式。为接触式传感器的研制奠定了理论基础。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘妤	重庆理工大学机械工程学院	29	41	4.0	5.0
2	陈松	重庆理工大学机械工程学院	28	59	4.0	7.0
3	顾雯雯	西南大学工程技术学院	10	35	3.0	5.0