基于紫外纳秒脉冲激光的微加工系统设计与实验分析

• 作者: 傅星 刘春阳 李济顺 杨芳 薛玉君 隋新 马伟
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 航空航天
• 关键词: 紫外纳秒脉冲激光 微加工 硅 光敏玻璃
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 126-130
• 页数: 5页
• 分类号: V261.8
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AL20143402.126

摘要

介绍了紫外纳秒脉冲激光微加工系统的设计,以及利用该系统对不同材料的样品进行加工实验分析.系统采用355 nm波长的紫外纳秒脉冲激光作为加工光源,设计了光路机械结构和基于DSP和FPGA的运动控制板,驱动3D运动平台带动样品运动实现加工.上位机软件对加工图像进行解析,并对加工过程进行控制.光路结构的共焦特性,保证了CCD的照明光源和加工光源共焦平面,实现了自动聚焦和在线观测功能.利用该微加工系统,针对单晶硅、光敏玻璃、陶瓷、金属等材料展开了多种加工实验,验证了系统性能的可靠性和实用性,通过对不同材料的加工结果进行了观测和分析,对加工参数和工艺进行了优化,总结了紫外脉冲激光针对不同材料的加工特性.