基于非球面检测的磁力微动间隙控制技术研究

• 作者: 焦璐璐 郭忠达 郭海洋
• 来源期刊: 国外电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电磁驱动 微位移 检测
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 62-64
• 页数: 3页
• 分类号: TN202
• 字数: 2055字
• 语种: 中文

摘要

在非球面检测中,为了能很好的控制参考波面的变化,需要对参考镜的位置进行微移动,针对此问题,研究了一种磁动式微动间隙调节结构,该结构以3个通电电磁线圈为驱动力,直线导轨为运动平台,通过电磁力驱动使参考镜的位置进行微小的变化,结构简单、方便,可以实现波面的位置控制,通过实验验证了该结构设计的正确性和可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭忠达	西安工业大学光电工程学院	21	87	5.0	8.0
2	焦璐璐	西安工业大学光电工程学院	2	8	1.0	2.0
3	郭海洋	西安工业大学光电工程学院	2	8	1.0	2.0