大尺寸ZnS真空气相沉积炉的研制

• 作者: 张延宾 张树玉 王征 石红春 陈昊
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空 气相沉积炉 CVD ZnS
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 分类号: TB79|TM924.36
• 字数: 4102字
• 语种: 中文

摘要

介绍了CVD ZnS生产工艺、真空气相沉积炉技术性能、设备结构组成及特点。该真空气相沉积炉是制备大尺寸ZnS的关键设备，它生产的CVD ZnS板料尺寸达到了1800 mm（长）×800 mm（宽）×25 mm （厚），单炉产量为1000 kg ，是国内生产ZnS板坯料尺寸最大、单炉产量最多的设备。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张延宾		13	8	2.0	2.0
2	陈昊		5	5	2.0	2.0
3	王征		4	6	2.0	2.0
4	张树玉		4	23	3.0	4.0
5	石红春		2	2	1.0	1.0