1064 nm 和355 nm 激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究

• 作者: 傅茜 张菲 曾晓雁 段军 蒋明
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 1064nm红外激光 355nm紫外激光 覆铜板
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 435-440
• 页数: 6页
• 分类号: TG156.99|TN249
• 字数: 4182字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.04.001

摘要

为了研究不同纳秒激光工艺参量（波长、能量密度、扫描速率）以及铜层厚度对激光刻蚀覆铜板质量（包括刻蚀深度及加工面粗糙度）的影响，采用50W的1064nm红外光纤激光器和10W的355nm紫外固体激光器对覆铜板进行了对比刻蚀实验。通过分析红外、紫外激光刻蚀覆铜板材料的作用机理并对比实验结果得知，采用1064nm红外光纤激光作为激光光源时，设置合适的刻蚀参量，能在完全去除铜箔层的条件下，最大限度地保证环氧树脂基底的完整性；而采用355nm的紫外激光作为激光光源时，因环氧树脂材料对紫外波段激光的高吸收率，以及紫外激光对有机材料的光化学作用，基底材料的损伤难以避免，此外，红外光纤激光具有较高的刻蚀效率。结果表明，综合光纤激光器高稳定性和高集成度的特点，若激光直接刻蚀技术被用于大规模覆铜板的工业加工中，红外光纤激光将更具优势性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋明	华中科技大学武汉光电国家实验室	20	185	7.0	13.0
2	曾晓雁	华中科技大学武汉光电国家实验室	144	2006	25.0	36.0
3	段军	华中科技大学武汉光电国家实验室	20	176	8.0	13.0
4	张菲	华中科技大学武汉光电国家实验室	11	80	6.0	8.0
5	傅茜	华中科技大学武汉光电国家实验室	1	6	1.0	1.0