HNO3胶溶对Al2O3薄膜性能的影响

• 作者: 同帜 李海红 王婕 王赛 胡敏盾
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: HNO3胶溶 溶胶-凝胶法 Al2O3薄膜 异丙醇铝
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 408-412
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174.75
• 语种: 中文

摘要

以异丙醇铝为前驱体，HNO3为胶溶剂，采用溶胶-凝胶法制备Al2O3膜。考察HNO3浓度对溶胶及薄膜的影响，通过 TG-DTG，XRD，AFM，BET 等表征手段对溶胶的稳定性及黏度，薄膜的热稳定性，物相组成，表面形貌，微孔结构及分布等进行综合分析。结果表明：随HNO3浓度增大，溶胶黏度增大，HNO3浓度为5 mol/L时溶胶发生团聚；薄膜的热稳定性较好，高于500℃加热薄膜几乎没有质量损失；随烧结温度升高，薄膜中的γ-AlOOH逐渐向γ-Al2O3转变，薄膜因此变得更加稳定；薄膜表面较为平整，微孔分布均匀，平均孔直径为4.22 nm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李海红	西安工程大学环境与化学工程学院	83	466	12.0	16.0
2	同帜	西安工程大学环境与化学工程学院	137	662	13.0	18.0
3	王婕	西安工程大学环境与化学工程学院	9	21	3.0	4.0
4	王赛	西安工程大学环境与化学工程学院	8	15	2.0	3.0
5	胡敏盾	西安工程大学环境与化学工程学院	9	30	3.0	5.0