消应力消偏振胶合棱镜二向色膜的设计与制备

• 作者: 卢卫萍 毕文江 羊琨 薛盈普 饶凤翔
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 消偏振膜 薄膜应力 可调工装
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 页码范围: 5-10
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 4873字
• 语种: 中文

摘要

根据薄膜的偏振效应，运用Essential Macleod光学薄膜设计软件，完成 DVD棱镜中消偏振二向色膜的设计，并采用光控法精确控制膜层厚度，制备出了满足客户要求的消偏振分光棱镜。残余应力大的薄膜容易产生脱膜现象，使得薄膜失去所需功能。为了消除薄膜应力，从膜料之间应力匹配关系及制备工艺2个方面，提出了控制薄膜应力的设计思想，并对其影响进行了讨论，利用镀膜前后光圈变化来反映膜层应力的大小。制备过程中，通过设计制作可调工装来改变镀膜有效孔径，通过调节标准块来满足非常严格的镀膜有效孔径要求。本文给出了该棱镜的消偏振膜系的设计和试验结果。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	饶凤翔		1	0	0.0	0.0
2	毕文江		1	0	0.0	0.0
3	羊琨		1	0	0.0	0.0
4	卢卫萍		1	0	0.0	0.0
5	薛盈普		1	0	0.0	0.0