太赫兹微测辐射热计的设计、仿真与制备

• 作者: 喻磊 王军 苟君 蒋亚东 黎威志
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: 太赫兹微测 辐射热计 力学仿真 热学仿真 制备
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 光学工程
• 页码范围: 727-732
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/972013-575

摘要

为提高太赫兹(THz)微测辐射热计的探测灵敏度,优化设计探测单元的徽桥结构:增加10nm的镍铬(NiCr)金属薄膜用作THz辐射吸收层并增大探测单元面积.采用IntelliSuite软件建立不同单元尺寸、不同桥腿宽度的微桥结构的有限元分析模型,进行力学与热学仿真.力学仿真表明,增大探测单元面积,形变明显增加;增大桥腿宽度可以小幅改善形变.热学仿真表明,通过增大探测单元面积或减小桥腿宽度可以提升桥面温升.制备出基于不同探测单元结构的THz微测辐射热计焦平面阵列,探测单元的实际形变情况与仿真结果基本相符.单元面积75 μm×75 μm,桥腿宽度1.3μm的微桥结构具有较好的力学与热学性能,适合用作THz徽测辐射热计的探测单元结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东		318	2024	18.0	25.0
2	黎威志		36	218	9.0	12.0
3	王军		115	936	14.0	26.0
4	苟君		7	20	1.0	4.0
5	喻磊		1	0	0.0	0.0