基于Markov过程的集束型设备预防维护策略

• 作者: 周炳海 綦法群
• 来源期刊: 上海交通大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 预防性维护 Markov过程 Markov决策过程 随机失效 退化失效
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 页码范围: 1461-1467
• 分类号: TP29
• 语种: 中文

摘要

为了更好地保障集束型晶圆制造设备运行的可靠性,同时考虑维护的经济性,建立了基于Markov过程的预防性维护策略.根据集束型设备的特点,采用大修和小修相结合的预防性维护方式,同时考虑随机失效和退化失效两种失效形式,建立了状态转移模型.依据Markov理论求得设备各状态的稳态概率及状态转移概率.再根据Markov决策理论及策略迭代算法求得最佳维护策略.实验结果表明,所提出的预防性维护策略有效可行.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周炳海	同济大学机械工程学院	166	679	12.0	15.0
2	綦法群	同济大学机械工程学院	8	44	3.0	6.0