以SiGe芯片开发的低成本气体分析仪

• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 芯片 气体质谱 传感器
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 应用专题
• 页码范围: 38-39
• 页数: 2页
• 分类号: TN37
• 字数: 888字
• 语种: 中文

摘要

微电子技术研究机构IHP-Leibniz Institute以及德国航太研究中心(DLR)，合作开发了一种尺寸小巧、具成本效益的气体质谱分析(gas spectroscopy)感测系统，运作于245GHz频率；而该系统也是全球第一套以硅锗(SiGe)芯片制作发送与接收器的系统。