TiAlON膜的研究现状与进展

• 作者: 张正贵 张钧 蔡佳婧
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: TiAlON薄膜 组织结构 特性 研究现状 进展
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 发展纵论
• 页码范围: 42-44
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

摘要

对TiAlON薄膜的制备技术、组织结构及特性进行了综述,指出了膜层的性能优化方法与途径,展望了膜层未来的应用方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张钧	沈阳大学机械工程学院	49	208	8.0	12.0
2	张正贵	沈阳大学机械工程学院	23	111	7.0	10.0
3	蔡佳婧	沈阳大学机械工程学院	1	1	1.0	1.0