磷杂质分布优化方法的研究

• 作者: 宋志成 屈小勇 张治 董鹏
• 来源期刊: 太阳能
• 关键词: 晶硅电池 磷杂质 扩散 杂质浓度分布 发射极
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 技术产品与工程
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 字数: 1831字
• 语种: 中文

摘要

以优化磷在硅中杂质分布的工艺方案为研究对象,通过扩散机理分析和实验研究的方法,对影响磷杂质分布型的关键因子进行理论探讨与实验验证.研究结果表明:硅中电子浓度与荷电空位是影响磷杂质分布的主要因子,通过扩散工艺调节实现了低表面浓度、浅结的杂质分布,为提高晶硅电池的转化效率和批量生产提供了可能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董鹏		7	14	2.0	3.0
2	宋志成		3	6	1.0	2.0
3	张治		4	9	2.0	3.0
4	屈小勇		2	6	1.0	2.0