纳米结构薄膜型气敏传感器的研究进展

• 作者: 戴正飞 李越 蔡伟平
• 来源期刊: 物理
• 关键词: 薄膜 气敏传感器 纳米结构
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 前沿进展 Progress at the Frontiers
• 页码范围: 364-372
• 页数: 9页
• 字数: 6665字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7693/wl20140602

摘要

薄膜型气敏器件对气体具有探测灵敏度高、响应时间快、制备成本较低、易于小型化等特点，并且适于制备微型传感器，因此成为近年来传感器研究的重点。将纳米结构材料制作成薄膜型气敏传感器，具有常规传感器不可替代的优点：纳米结构构成的固体材料具有庞大的界面，提供了大量气体通道，从而大幅度提高了灵敏度和降低了工作温度，并可缩小传感器的尺寸。文章主要介绍了当前国内外纳米结构薄膜型气敏传感器的研究现状，概述了几种常见的纳米结构单元薄膜的气敏特性，扼要地分析了今后纳米薄膜型传感器的研究趋势。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李越	中国科学院合肥物质科学研究院	54	432	13.0	18.0
2	蔡伟平	中国科学院合肥物质科学研究院	11	88	6.0	9.0
3	戴正飞	中国科学院合肥物质科学研究院	1	8	1.0	1.0