水辅助激光刻蚀氧化铝陶瓷的研究

• 作者: 孔令瑞 张菲 曾晓雁 段军 罗瑞峰
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 水辅助加工 氧化铝陶瓷 表面刻蚀
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 330-334
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 字数: 2275字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.03.010

摘要

为了得到较理想的激光刻蚀结果，采用355 nm固体紫外激光，分别在空气与水中进行了氧化铝陶瓷片激光刻蚀实验。对激光主要参量如脉冲能量密度、激光扫描速率、激光重复频率等对水下刻蚀深度和质量的影响进行了对比研究；对激光刻蚀的机理以及水辅助刻蚀的物理过程进行了分析，分别得到了紫外激光在空气中与水下的刻蚀形貌与不同激光参量下的刻蚀深度数据。结果表明，水辅助激光刻蚀可以提高刻蚀效率，改善刻蚀质量；水下激光刻蚀深度与激光的脉冲能量密度、加工速率、重复频率和水的深度等参量有密切的关系；水辅助激光刻蚀过程中水的冷却作用以及产生的空泡有效防止去蚀材料的二次黏附，避免变质层的形成，既提高了刻蚀质量，同时也增加了刻蚀深度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾晓雁	华中科技大学武汉光电国家实验室	144	2006	25.0	36.0
2	段军	华中科技大学武汉光电国家实验室	20	176	8.0	13.0
3	孔令瑞	华中科技大学武汉光电国家实验室	2	19	1.0	2.0
4	张菲	华中科技大学武汉光电国家实验室	11	80	6.0	8.0
5	罗瑞峰	华中科技大学武汉光电国家实验室	1	19	1.0	1.0