类球形氧化铈的制备及抛光性能

• 作者: 周新木 彭欢 李永绣 李静 阮桑桑
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 化学
• 关键词: 氧化铈 类球形 合成 抛光
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1005-1010
• 分类号: O614.33
• 语种: 中文
• DOI: 10.13373/j.cnki.cjrm.2014.06.011

摘要

采用溶剂热法合成了粒径为200 nm左右的类球形CeO2前驱体,在一定温度下煅烧得到抛光粉,采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、电子衍射、激光粒度分析仪等对其进行了表征和观察;同时考察了溶剂热温度、分散剂种类和用量等因素对合成类球形CeO2前驱体的影响,以及不同煅烧温度和煅烧时间对单晶硅片抛光性能的影响.结果表明:以氯化铈为铈源,以0.75 mol·L-1 NH3·H2O为沉淀剂,乙二醇为溶剂,聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为分散剂,搅拌30 min后得到浑浊液转移至50 ml内衬聚四氟乙烯(PTFE)反应罐中,在烘箱中于180℃反应24 h,沉淀分别用去离子水,无水乙醇各洗3次,放于60℃烘箱中烘干,得到氧化铈前驱体,经500℃煅烧2h为D50=203 nm的类球形CeO2粉体,粉体分散性好,配成质量分数为0.2％的抛光浆料对n(111)型单晶硅片抛光,得到较高抛光速率和超平整的抛光表面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李永绣	南昌大学化学系	108	1296	19.0	31.0
2	周新木	南昌大学化学系	64	781	14.0	25.0
3	李静	南昌大学化学系	148	949	16.0	23.0
4	阮桑桑	南昌大学化学系	3	6	1.0	2.0
5	彭欢	南昌大学化学系	2	6	1.0	2.0