用于大尺度团簇交叉碰撞实验的差分抽气系统的设计与真空监测

• 作者: 师勉功 方才进 朱洲森 缪竞威
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲喷射团簇源 差分抽气系统 ZDF型复合真空测量体系 真空监测
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 分类号: O562.5
• 字数: 1871字
• 语种: 中文

摘要

本研究是给大尺度团簇与微团簇交叉碰撞实验提供一套性能稳定、真空度高的差分抽气系统。介绍了差分抽气系统的整体结构、真空泵以及真空测量与自动记录系统的性能。实验测试了差分抽气系统达到稳定真空的时间等参量，分析了第二级差分抽气区真空值异动的原因。用脉冲喷射的实验方法，测试了差分抽气系统工作性能及指标，并对装置可以改进的方面做了一些探讨。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱洲森	四川师范大学物理与电子工程学院	14	27	3.0	4.0
2	缪竞威	四川大学原子核科学技术研究所	24	45	4.0	5.0
3	方才进	四川师范大学物理与电子工程学院	4	3	1.0	1.0
4	师勉功	四川大学原子核科学技术研究所	1	1	1.0	1.0