多晶硅生产系统内二氯二氢硅的产生与利用

• 作者: 肖荣晖 赵雄
• 来源期刊: 中国有色冶金
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 二氯二氢硅 生产 利用
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 多晶硅
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 3362字
• 语种: 中文

摘要

简单介绍了二氯二氢硅的生产方法,以1 000 t多晶硅生产系统为例,计算出还原工序、四氯化硅氢化工序、三氯氢硅合成工序以及整个系统二氯二氢硅的生成量,对多晶硅系统副产二氯二氢硅的利用进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵雄		8	14	2.0	3.0
2	肖荣晖		9	29	3.0	5.0