原文服务方: 自动化与仪表       
摘要:
光刻机工件台控制系统是一种典型的分布式控制系统,定位精度和运动精度要求达到纳米级,其复杂的控制系统要求具有强实时性和高度同步性.针对上述特点,该文设计了一种基于光纤通信的高速串行链路(HSSL)互联方案.该设计中自定义光纤传输通信协议,包括数据帧、应答帧、触发帧.并通过FPGA编程实现光纤传输通信协议.通过实验表明,该光纤通信传输数据具有正确性、高可靠性、抗电磁能力强等特点,具有重要的工程应用价值.
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文献信息
篇名 高速光纤链路通信HSSL的设计与实现
来源期刊 自动化与仪表 学科
关键词 光刻机工件台 高速串行链路 通信协议 FPGA
年,卷(期) 2014,(10) 所属期刊栏目 专题研究
研究方向 页码范围 4-7
页数 4页 分类号 TP273.4
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈兴林 哈尔滨工业大学航天学院 164 1267 18.0 24.0
2 张广莹 哈尔滨工业大学航天学院 22 273 9.0 16.0
3 徐加彦 哈尔滨工业大学航天学院 9 34 3.0 5.0
4 张之万 哈尔滨工业大学航天学院 5 27 2.0 5.0
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研究主题发展历程
节点文献
光刻机工件台
高速串行链路
通信协议
FPGA
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
自动化与仪表
月刊
1001-9944
12-1148/TP
大16开
1981-01-01
chi
出版文献量(篇)
3994
总下载数(次)
0
总被引数(次)
18195
论文1v1指导