MEMS 型水听器的自噪声分析

• 作者: 方尔正 杨德森 洪连进
• 来源期刊: 哈尔滨工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 水听器 微机械系统 自噪声 噪声测量
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 页码范围: 285-288
• 页数: 4页
• 分类号: TB566
• 字数: 2410字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7043.201304018

摘要

针对部分结构形式的水听器自噪声较高这一现象，以MEMS型水听器为原型进行了结构分析。根据机械-热噪声理论，给出了MEMS型水听器热噪声计算方法和水介质中声压与加速度的转换关系。对水听器噪声参数进行了计算机仿真，得出了影响传感器自噪声的主要因素，给出了自噪声与谐振频率、质量块质量和机械Q值之间的关系。将典型水听器自噪声与海洋环境噪声进行了对比，仿真分析结果表明，工业用加速度传感器不能用于水下声辐射噪声测量任务，用于在辐射噪声测量的MEMS型水听器需要具有40 ng以下的自噪声才能达到系统要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨德森	哈尔滨工程大学水声技术重点实验室	111	977	17.0	25.0
2	洪连进	哈尔滨工程大学水声技术重点实验室	17	260	8.0	16.0
3	方尔正	哈尔滨工程大学水声技术重点实验室	17	68	5.0	8.0