Ti-Mo吸气材料在不同工作温度下的性能研究

• 作者: 崔建东 张艳 杜军 苑鹏
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 吸气材料 吸气性能 工作温度 残气
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 1150-1154
• 分类号: TB741
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2014.11.03

摘要

利用“动态吸气法”测试了Ti-Mo吸气材料在不同工作温度条件下吸气性能的变化,采用四极质谱仪监测激活过程中真空腔体内残余气体成分及含量.结果表明:工作温度越高,材料的起始吸气速率越高,但当工作温度高于400℃后,随着温度的升高总吸气容量反而下降;在400℃条件下吸气后,材料具备良好的激活再生能力,但是经500℃吸气后,材料长期维持真空的能力降低,总吸气容量受损;随着温度的升高,H2O、CO2及碳氢化合物逐渐从吸气材料表面脱附,H2主要在200℃以上温度脱附,整个激活过程未发现O2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜军		75	496	13.0	17.0
2	苑鹏		10	34	3.0	5.0
3	崔建东		8	28	3.0	5.0
4	张艳		12	32	3.0	4.0