大型太阳能级多晶硅提纯用真空电子束熔炼炉的研制

• 作者: 孙照富 尹中荣 张延宾
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 冶金法 太阳能级多晶硅 真空 电子束熔炼炉
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 真空冶金
• 页码范围: 22-25
• 分类号: TF134|TB79
• 语种: 中文

摘要

介绍了真空电子束熔炼炉提纯原理、主要技术参数、设备结构及特点.该设备是冶金法制备太阳能级多晶硅技术中的关键设备,已应用到了国内多家单位工业化生产中,每炉产量为750 kg,单台设备每天产量为2250 kg,通过检测,硅料中磷的含量由6 ppm降到了≤0.1 ppm,达到了太阳能级多晶硅对磷含量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹中荣		10	34	3.0	5.0
2	张延宾		13	8	2.0	2.0
3	孙照富		5	5	1.0	1.0