GaAs光阴极制备装置的超高真空系统研制

• 作者: 张铜 彭晓华 李小平 王光伟 蒋迪奎 郭盘林
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子枪 GaAs光阴极 超高真空
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 1155-1159
• 分类号: O462.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2014.11.04

摘要

研制了一套由导入室、制备室和储藏室组成的三室Load-Lock超高真空GaAs光阴极制备装置,用于中国科学院高能物理研究所自主研制的500kV光阴极直流高压电子枪系统.在本装置中,采用溅射离子泵和非蒸散型吸气剂泵的复合方式来获取超高真空,并通过磁力杆完成光阴极在各个真空室之间的传送和取放.真空测试结果显示,用钛金属材料制作的储藏室的极限真空达到3.1×10-10 Pa,用不锈钢316L材料制作的制备室和导入室的极限真空分别达到4× 10-9 Pa和3.6× 10-8Pa,三个真空室的真空指标优于设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李小平	中国科学院高能物理研究所	26	392	10.0	19.0
2	王光伟	中国科学院高能物理研究所	32	102	5.0	8.0
3	彭晓华	中国科学院高能物理研究所	10	15	3.0	3.0
4	张铜	中国科学院高能物理研究所	1	4	1.0	1.0
5	郭盘林		1	4	1.0	1.0
6	蒋迪奎		1	4	1.0	1.0