用于微纳米几何量尺寸测量的三维微接触式测头

• 作者: 吴俊杰 李源
• 来源期刊: 上海计量测试
• 关键词: 微接触式测头 电容传感器 压阻传感器 纳米测量机
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 2-5
• 页数: 4页
• 字数: 1792字
• 语种: 中文

摘要

为实现微纳尺度器件三维几何形貌测量及表征，基于电容和压阻原理，开发了两种三维微接触式测头。其中电容测头测量范围4.5μm，轴向分辨力和横向分辨力分别为10 nm和25 nm；压阻测头测量范围4.6μm，轴向分辨力和横向分辨力分别为5 nm和10 nm。两种测头均可集成到纳米测量机，实现微结构几何参数的测量。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李源		19	84	6.0	8.0
2	吴俊杰		3	10	1.0	3.0