原子力声显微镜的原理及应用

• 作者: 白文坤 胡兵 陈旖旎
• 来源期刊: 声学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力声显微镜 纳米图像 弹性模量 接触刚度
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 超声学
• 页码范围: 508-511
• 页数: 4页
• 分类号: TB556
• 字数: 4012字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn1000-3630.2014.06.006

摘要

原子力声显微镜结合了超声检测技术的三维成像能力与原子力显微镜的纳米尺度成像的近场显微技术。它在商用的原子力显微镜设备的基础上加以压电超声传感器产生声激励，并使用锁相放大器对数据进行收集分析，既可得到三维的纳米级的清晰形貌图，又能通过建模分析样品表面的接触刚度及样品的弹性模量。目前，原子力显微镜被广泛应用于材料领域，用于检测样品的机械性能，比如样品的接触刚度、薄膜高分子材料的弹性模量，同时还运用于医学生物领域，用于观察细胞的超微结构及其表面和亚表面的弹性模量等。