一种集成SAR-ADC的电容式MEMS陀螺仪高精度模拟接口电路

• 作者: 于敦山 张雅聪 方然 沈广冲 胡俊嵘 陈中建 陶婷婷 鲁文高
• 来源期刊: 北京大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 电容接口电路 MEMS陀螺仪 SAR-ADC
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 734-740
• 页数: 7页
• 分类号: TN492
• 语种: 中文
• DOI: 10.13209/j.0479-8023.2014.116

摘要

提出一种为MEMS振动陀螺仪设计的驱动和检测接口电路.第一步采用通用级和TIA得到低噪声C/V转换,同时集成采样率1.25 MS/s的14位SAR-ADCs,将驱动和感应模式的信号转换到数字域.采用这种策略,模拟电路的复杂性被降低,数字域的信号可以更精确操作.此接口适用于共振频率为3～15 kHz的MEMS陀螺仪.此电路在0.18μmCMOS工艺流片.实验结果显示,在3.5 kHz频率下,输出电容的噪声密度为0.03aF/√Hz.