偏置电压交变的时分反馈闭环加速度计

• 作者: 伍峰 刘大河 张婷婷 张雅聪 洪理琛 赵猛 陈中建 鲁文高 黄靖清
• 来源期刊: 北京大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 比例积分微分控制器 闭环 加速度计 自检测 微机电系统
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 729-733
• 页数: 5页
• 分类号: TN432
• 语种: 中文
• DOI: 10.13209/j.0479-8023.2014.115

摘要

提出一种改进结构的时分反馈闭环加速度计,该结构使用负系数的PID控制器,只需要一个运算放大器.改进后的结构减小了读出电路的芯片面积,同时省去一个运算放大器和两个大电阻,因此能降低系统噪声.读出电路采用0.35 μm高压CMOS工艺,并包含自检测功能.测试结果显示,在自检测模式下,闭环加速度计的线性度为99.72％.在DC到200 Hz内,输出噪声电压均方根值约为140 μV.