ZnO纳米/微米结构传感器对乙醇气敏性研究

• 作者: 吕有明 彭双娇 曹培江 曾玉祥 朱德亮 柳文军 贾芳 韩舜
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO 化学气相法 气敏特性 缺陷含量
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 460-464
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4|O472+.4
• 字数: 2157字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20143504.0460

摘要

采用化学气相法分别在石英舟内表面和单晶硅衬底上制备了ZnO微米片、纳米线、微米四足体以及微米球4种结构,并制作了相应的气敏传感器.扫描电子显微镜、气敏测试仪等结果显示:合成的ZnO纳米/微米结构尺寸在200 nm～100 μm之间,传感器最佳工作电流区间为120～130 mA,其中微米四足体制备的传感器灵敏度高达127,展现出优异的气敏特性.在4种结构中,微米四足体材料内部的Vo缺陷含量最高,结合气敏测试与荧光光谱结果,我们认为材料内部的VO缺陷含量是影响材料气敏特性的最重要因素.