晶体硅铸锭用氮化硅涂层失效机理及改性研究

• 作者: 周海萍 尹长浩 黄新明
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: 氮化硅涂层 失效 改性
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 35-37,65
• 页数: 4页
• 分类号: TQ126.72
• 语种: 中文

摘要

氮化硅涂层是多晶硅铸锭必不可少的脱模剂,新型高效多晶硅铸锭对氮化硅涂层提出更高的要求.重点研究了氮化硅涂层在新型高效多晶硅铸锭过程中的失效机理,结果显示,氮化硅的碳化是导致氮化硅涂层与硅熔体间非浸润性降低,以及氮化硅涂层失效的主要原因.采用改进的溶胶-凝胶法(Sol-Gel)结合表面无碳处理制备增强型氮化硅涂层,该涂层在铸锭实验中显示出较高的强度及与硅熔体间良好的非浸润性,能够很好地满足新型高效多晶硅对氮化硅涂层的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹长浩		4	21	3.0	4.0
2	黄新明		9	39	4.0	6.0
6	周海萍		2	11	2.0	2.0