CdS薄膜的制备、结构和光致发光性能

• 作者: 朱燕艳 王军超
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: CdS薄膜 X射线衍射(XRD) 光致发光 磁控溅射法 太阳电池
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 324-327
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.05.007

摘要

CdS薄膜是一种n型半导体材料,用于CdTe多晶薄膜太阳电池的窗口层,其质量直接影响太阳电池的光电转换效率和寿命.用磁控溅射法制备了CdS薄膜,通过对薄膜进行X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、光致发光和紫外-可见光谱等测试,研究了CdS薄膜的制备工艺对薄膜结晶度、表面形貌和禁带宽度的影响关系.研究发现,随着CdS薄膜溅射功率的升高,薄膜的结晶度变好,晶粒增大,薄膜增厚,光致发光峰强度增加,禁带宽度减小;随着溅射气压减小,薄膜厚度增大,光致发光峰强度减小,禁带宽度减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱燕艳		21	14	2.0	3.0
2	王军超		1	0	0.0	0.0