敏感陶瓷表面溅射金属化研究

• 作者: 王德苗 王文婷
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 负温度系数热敏陶瓷 电极 附着力
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 896-899
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2014.09.03

摘要

以负温度系数(NTC)热敏陶瓷为例,采用直流磁控溅射技术在陶瓷表面制备了过渡层+阻挡层+焊接层的复合溅射膜电极,其中Ni-V薄膜作为过渡层兼阻挡层,Ag作为焊接层.并对NTC热敏陶瓷的各项电性能,电极的结合力等进行了测试,采用扫描电镜、能量色散X射线谱等技术研究了溅射膜电极的作用机理和微观形貌.实验结果表明:Ni能与NTC热敏陶瓷产生良好的欧姆接触,并提高了电极层与陶瓷表面的附着力,而且Ni膜能够有效阻挡Ag扩散进入陶瓷体内,避免了烧银电极中Ag向瓷体内扩散的缺点,同时Ni还能很好地耐受高温无铅焊锡的溶蚀,保证焊接质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文婷	浙江大学信息科学与电子工程系	6	8	2.0	2.0