电极表面形态对真空击穿特性的影响

• 作者: 俞永波 屠彦 张晓兵 杨兰兰 肖梅
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 物理学
• 关键词: 真空击穿 表面形态 电场强度 老炼
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 385-389
• 页数: 5页
• 分类号: O461
• 字数: 3433字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2014.03.002

摘要

真空击穿是影响许多电子器件性能的一个重要因素，引起真空击穿的原因很多，其中电极的表面形态在真空击穿的起始阶段发挥着重要的作用。采用有限元法分析了不同电极表面形态对电极间电场的影响，研究表明当电极表面有凹凸缺陷时易引起击穿的发生，其中凸缺陷将导致电场强度几十倍增加，且圆锥形凸起引起的最大电场强度和尖端角度成线性关系；并进一步模拟研究了老炼对真空击穿特性的改进，结果表明老炼可将峰值电场强度降低70%以上。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	屠彦	东南大学电子科学与工程学院	87	325	8.0	13.0
2	杨兰兰	东南大学电子科学与工程学院	52	168	7.0	10.0
3	张晓兵	东南大学电子科学与工程学院	87	746	13.0	24.0
4	肖梅	东南大学电子科学与工程学院	11	83	5.0	9.0
5	俞永波	东南大学电子科学与工程学院	5	29	3.0	5.0