VAlSiN硬质涂层的结构与机械性能

• 作者: 孟凡平 李栋 薛群基 黄峰
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: VAlSiN硬质涂层 Si掺入 机械性能
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与探索 Research and Exploration
• 页码范围: 59-63
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 1860字
• 语种: 中文

摘要

目的：研究Si的掺入对VAlN硬质涂层机械性能的影响行为。方法利用双靶( V50 Al50靶与Si靶)磁控溅射沉积技术,保持V50 Al50靶的功率为一定值,通过控制Si靶的功率,获得Si含量不同的VAlSiN硬质涂层,分析涂层的成分、相组成、硬度及耐磨损性能。结果 Si在涂层中以Si3 N4非晶相存在,Si3 N4起到细化晶粒的作用,少量Si的掺入可使涂层的硬度与耐磨性能得到提升。但当Si大量掺入后,Si3 N4非晶相成为涂层中的主相,导致涂层的硬度与耐磨性能出现下降。结论少量Si的掺入有益于VAlN涂层机械性能的提升。