流体二维振动超精密抛光实验研究

• 作者: 何冰强 杨忠高 郭钟宁
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 抛光 超精密 流体二维振动 超声
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 制造技术/工艺装备
• 页码范围: 99-103
• 页数: 5页
• 分类号: TH16
• 字数: 2873字
• 语种: 中文

摘要

基于流体二维振动超精密抛光方法对石英玻璃进行了抛光实验研究，将超声波作为振动源，驱动抛光液在水平和垂直两个方向耦合振动实现对工件的抛光。测试了振动场中的声强，讨论了不同输入电压对声强的影响。分析了不同流场状态、工件装夹方式、磨料粒度以及抛光时间对抛光效果的影响，并得出了一些基本规律。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭钟宁		197	1090	16.0	23.0
2	何冰强		14	26	3.0	4.0
3	杨忠高		11	8	2.0	2.0