基于改进型DLIA的AFM探针高速振幅检测

• 作者: 于鹏 刘柱 周磊 杨洋 王栋 董再励
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜(AFM) 轻敲模式 幅值检测 数字锁相放大器(DLIA) 单通道
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 791-797
• 分类号: TH89|TP391
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.12.008

摘要

轻敲模式是原子力显微镜(AFM)最为常见的扫描模式之一.轻敲模式以探针振动信号幅值作为反馈信号,实行实时检测.目前,有模拟检测和数字检测两种检测方法,模拟检测方法由于模拟器件固有的温漂导致误差较大,数字检测方法误差小但运算量较大.提出了一种实时检测轻敲模式信号振幅的改进型数字锁相放大器(MDLIA),在自制的AFM扫描成像系统中同时具备误差较小和运算量较小两个优点.MDLIA使用与振动信号同频同相的方波信号作为参考信号,因此仅采用单通道运算即可检测振动信号幅值.首先通过理论分析介绍了MDLIA的原理,然后介绍各组成部分及实现过程,最后通过运算耗时实验验证MDLIA运算量小且运算速度快的特点,并通过误差对比实验证明MDLIA误差较小,同时通过标准栅格扫描实验验证MDLIA的稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周磊	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	53	456	14.0	19.0
2	杨洋	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	76	554	13.0	21.0
3	王栋	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	102	720	14.0	24.0
7	刘柱	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	8	33	3.0	5.0
8	于鹏	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	8	22	2.0	4.0