AZO-SiO2-Si材料中二维侧向光伏效应的研究

• 作者: 张朝民 曹丽杰 朱鹏飞 潘颖 白亮 程家忠
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: AZO-SiO2-Si材料 高精度传感器 金属氧化物-氧化物-半导体结构 二维侧向光伏效应
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1080-1085
• 分类号: TB303
• 语种: 中文
• DOI: 10.13373/j.cnki.cjrm.2014.06.023

摘要

采用旋转涂覆法在被氧化的硅基底片上形成掺铝氧化锌(AZO)薄膜,再经过真空烘干后制成AZO-SiO2-Si金属氧化物-氧化物-半导体材料样品.使用波长785 nm、功率5 mW的激光在二维方向上扫描样品,绘制出侧向光伏与激光照射点的关系曲线图,研究其二维侧向光伏效应.激光沿一定轨迹扫描金属氧化物-氧化物-半导体结构样品后,利用Origin软件将测得的实验数据拟合成实验结果图.为了更深层次的研究AZO-SiO2-Si结构中的侧向光伏效应,根据电子跃迁、载流子扩散和能带结构理论,结合前人的研究成果建立物理模型.研究显示,作为一种新型的高精度传感器,样品电极点连线区间内测得的侧向光伏曲线灵敏度为90.35 mV·mm-1、线性相关系数为0.9987,因而AZO-SiO2-Si结构可以用作高精度位移传感器(PSD).实验结果显示激光扫描线偏离电极连线时,线性相关系数和灵敏度都会减小.在垂直于电极连线方向上,虽然侧向光伏曲线没有良好的线性相关性和较高的灵敏度,却具有高度的对称性,AZO-SiO2-Si结构可以用作距离校准传感器(RCD).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张朝民	上海工程技术大学基础教学学院	37	67	4.0	6.0
2	曹丽杰	上海工程技术大学机械工程学院	34	134	7.0	10.0
3	朱鹏飞	上海工程技术大学基础教学学院	18	14	2.0	3.0
4	潘颖	上海工程技术大学机械工程学院	28	45	4.0	4.0
5	程家忠	上海工程技术大学机械工程学院	1	3	1.0	1.0
6	白亮	上海工程技术大学基础教学学院	3	5	2.0	2.0