Si3N4球/DLC膜摩擦副在真空环境下的摩擦学行为研究

• 作者: 于飞 刘官 曾群锋 董光能
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石膜 摩擦磨损性能 硬度 真空工况
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 1184-1191
• 分类号: TH117.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2014.11.10

摘要

采用非平衡磁控溅射技术在高速钢基体上制备了类金刚石(DLC)膜.采用球盘式摩擦磨损试验机考察了DLC膜在大气和真空环境干摩擦条件下的摩擦学性能,并比较分析了GCr15钢球和Si3N4球不同摩擦配副对DLC膜的摩擦学性能.采用光学显微镜及扫描电镜观察了摩擦副的磨损表面形貌.研究结果表明:由于转移膜的形成Si3N4球/DLC膜摩擦副在大气下具有良好的摩擦学性能;而在真空条件下摩擦副易发生明显的粘着磨损,使摩擦系数、磨斑增加,磨损表面上存在着较多的片状磨屑和微米级颗粒.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董光能	西安交通大学现代设计及转子轴承系统教育部重点实验室	90	630	13.0	19.0
2	曾群锋	西安交通大学现代设计及转子轴承系统教育部重点实验室	34	192	8.0	12.0
3	刘官	西安交通大学现代设计及转子轴承系统教育部重点实验室	3	24	3.0	3.0
4	于飞		1	10	1.0	1.0