基于核特征近邻指标的批过程监视及仿真研究

• 作者: 李元 袁杰 郭小萍
• 来源期刊: 系统仿真学报
• 学科: 工学
• 关键词: 核特征空间 过程监视 k近邻 批次过程 仿真实验
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 建模与仿真理论及方法
• 页码范围: 1424-1429
• 分类号: TP277
• 语种: 中文

摘要

批次生产过程为了不断满足快速增长的市场需求,经常进行生产装置的重组、负荷大小的调整以及品种的更换等,使批次过程的采样数据呈现出非线胜、非高斯、多工况等复杂特征.针对这些特征,提出在批次过程的核特征空间利用核主元的k个近邻构建故障检测统计量指标进行过程监视的方法.将批次过程正常工况的数据按批次方向展开并进行标准化.采用核方法将其投影到核特征空间,确定出核主元,组成新的建模样本数据.通过相似性原理找到每个样本的k个近邻,构建k近邻的距离平方和故障检测指标,并采用核密度估计法确定出正常工况指标标的统计控制限.利用SPE统计量对核残差空间同时进行监视.通过一个半导体生产过程的仿真实验结果表明了所提方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭小萍	沈阳化工大学信息工程学院	23	133	5.0	10.0
2	李元	沈阳化工大学信息工程学院	122	550	12.0	18.0
3	袁杰	沈阳化工大学信息工程学院	3	7	2.0	2.0