扩散泵和扩散喷射泵技术

• 作者: 张明达 李智慧 王壮 苏玉萍
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 扩散泵 扩散喷射泵 设计 计算
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 真空获得与设备
• 页码范围: 15-20
• 分类号: TB752+.42
• 语种: 中文

摘要

本文介绍和给出了扩散泵以及扩散喷射泵的主要尺寸、参数的设计与计算,并对抽气速率、蒸发面积及喷咀设置与返流率等问题进行探讨.最后对两种产品实例进行分析和计算,为产品设计、生产和改进提供参考和依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张明达		3	5	2.0	2.0
2	苏玉萍		2	3	1.0	1.0
3	王壮		2	3	1.0	1.0
4	李智慧		1	1	1.0	1.0