Fe掺杂量和退火氛围对TiO2薄膜晶体结构和磁性能的影响

• 作者: 刘鹏飞 岂云开 杨淑敏 韩伟 韩金荣 顾建军
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 稀磁半导体 晶体结构 铁磁性 退火氛围
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 测试与表征
• 页码范围: 101-105
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4+3
• 语种: 中文
• DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2014.10.018

摘要

采用直流磁控溅射方法在玻璃基片上制备了不同Fe掺杂量的TiO2薄膜,并对薄膜分别在空气和真空氛围下500℃进行30min退火处理.研究了Fe掺杂量和退火氛围对TiO2薄膜的结晶状态、表面形貌和磁性能的影响.结果表明,真空中500℃下退火的Fe掺杂的TiO2薄膜表现为非晶态结构,没有观察到室温铁磁性能的出现,而空气中500℃退火的样品显示出良好的结晶状态,且所有掺杂的样品均显示出室温铁磁性,并且随着Fe掺杂量的增加,TiO2薄膜的晶体结构逐渐由锐钛矿相向金红石相转变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩伟	河北民族师范学院物理系	45	43	4.0	4.0
2	杨淑敏	河北民族师范学院物理系	15	16	2.0	3.0
3	顾建军	河北民族师范学院物理系	16	21	2.0	3.0
4	岂云开	河北民族师范学院物理系	14	20	2.0	3.0
5	韩金荣	河北民族师范学院物理系	4	11	2.0	3.0
6	刘鹏飞	河北民族师范学院物理系	3	43	3.0	3.0