(Ti,Al,Si,C)N硬质膜层高温性能研究

• 作者: 华云峰 姬寿长 李争显 杜继红 王宝云 王彦锋
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: (Ti,Al,Si,C)N 硬质膜层 高温性能 显微组织 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 1202-1205
• 分类号: TG146.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2014.11.13

摘要

采用等离子增强电弧离子镀联合磁控溅射工艺制备了含35％(原子比)C的(Ti,Al,Si,C)N硬质膜层,并利用扫描电镜、X射线衍射仪及高温摩擦磨损试验仪表征了膜层在不同退火条件下的性能及组织演变行为.研究结果表明,复合膜层在低于800℃的退火条件下,膜层仍表现出较高的显微硬度、较低的摩擦系数以及氧化增重率,复合膜层的显微结构并未发生显著的变化.在800℃、氧化7h后,膜层发生了严重的氧化失效.因此,复合膜层在长时间高温氧化下的性能仍需要进一步提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李争显		169	1281	19.0	26.0
2	杜继红		102	955	17.0	24.0
3	王宝云		25	249	9.0	15.0
4	姬寿长		21	134	6.0	11.0
5	华云峰		16	56	5.0	7.0
6	王彦锋		2	1	1.0	1.0