MOCVD法制备抗氧化铱涂层的研究现状

• 作者: 景伟 李贺军 郭领军 马春红
• 来源期刊: 固体火箭技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: MOCVD 铱 失效机制 抗氧化
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 结构、材料与工艺
• 页码范围: 563-568
• 页数: 6页
• 分类号: V259
• 字数: 6602字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7673/j.issn.1006-2793.2014.04.025

摘要

综述了MOCVD技术制备抗氧化铱涂层的基本原理和特点；MOCVD的制备工艺，如MO源、基体种类、沉积温度、沉积气氛等对铱涂层结构的影响；提出了铱涂层因热膨胀系数不匹配、存在杂质和微裂纹等氧化活性点失效的3种失效机制；并通过对比国内外MOCVD铱涂层的制备技术及性能特点，指出了国内MOCVD制备铱涂层的过程中存在的成本昂贵、沉积理论不完善、结合力差等关键问题及可能的解决方案。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李贺军	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	351	3778	28.0	39.0
2	郭领军	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	50	314	11.0	16.0
3	景伟	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	1	2	1.0	1.0
4	马春红	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	1	2	1.0	1.0