直边衍射对铬原子3维沉积特性的影响

• 作者: 张文涛 肖宇馨
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光技术 直边衍射 龙格-库塔算法 3维沉积
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 激光材料和光学元件
• 页码范围: 785-789
• 页数: 5页
• 分类号: O436
• 字数: 2440字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.06.013

摘要

为了研究基片的直边衍射效应对激光汇聚铬原子沉积特性的影响，利用半经典模型，采用改进后的设定恰当步长的4阶龙格-库塔算法，模拟了铬原子在直边衍射激光驻波场中的3维运动轨迹和3维沉积光栅结构，研究了衍射边与反射镜的距离、激光中轴线与基片表面的距离对激光汇聚原子沉积过程的影响。结果表明，基片摆放位置不同，沉积效果受到衍射效应的影响程度也随之改变；当衍射边到反射镜的距离为0．81cm、激光中轴线与基片表面的距离为0．01 mm时，纳米光栅的半峰全宽最小，同时对比度最大。该研究成果为原子光刻实验提供了丰富的理论指导。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文涛	桂林电子科技大学电子工程学院	105	506	10.0	18.0
2	肖宇馨	桂林电子科技大学电子工程学院	2	0	0.0	0.0