MEMS中一种改进的移动最小二乘曲面拟合亚像素位移测量算法

• 作者: 刘远 罗元
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 曲面拟合 数字图像相关 移动最小二乘法 MEMS 亚像素
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 光电技术应用
• 页码范围: 1093-1097
• 分类号: TP391.41
• 语种: 中文

摘要

曲面拟合法求解亚像素位移是数字图像相关测量MEMS亚像素位移的主要方法之一,现在研究热点之一的移动最小二乘曲面拟合法有时可能会产生病态甚至奇异,影响位移的测量精度和稳定性.文章提出了一种改进的移动最小二乘曲面拟合算法.实验表明:与传统的拟合法相比,该拟合曲面更光滑、亚像素精度更高、稳定性更好、抗噪能力更强,能够有效应用到MEMS的位移测量中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗元	重庆邮电大学光电工程学院	192	1681	17.0	31.0
2	刘远	重庆邮电大学光电工程学院	1	2	1.0	1.0