碳纤维毡表面磁控溅射纳米铜薄膜的工艺优化

• 作者: 王鸿博 赵晓曼
• 来源期刊: 化工新型材料
• 关键词: 碳纤维毡 纳米铜薄膜 磁控溅射 工艺优化 电磁屏蔽
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 新材料与新技术
• 页码范围: 72-74
• 页数: 3页
• 语种: 中文

摘要

以碳纤维毡为基材,优化了采用磁控溅射技术在其表面沉积纳米铜薄膜的工艺参数.运用正交试验分析方法,选取沉积时间、溅射功率和工作压强3个参数为因素,分析了各因素对碳纤维毡的电磁屏蔽效能和导电性能的影响.实验表明:磁控溅射铜薄膜后,碳纤维毡的电磁屏蔽效能提高了116.25％,导电性能提高了45.81％.;碳纤维毡表面溅射沉积铜薄膜的最佳工艺方案为:沉积时间50min,工作压强0.4Pa,溅射功率80W.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王鸿博		207	1107	15.0	21.0
2	赵晓曼		3	1	1.0	1.0