多弧离子镀制备TiN/TiAlN多层薄膜表面形貌与成分研究

• 作者: 丁龙先 张弛 张桂如 王培芬
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 TiN/TiAlN多层薄膜 表面形貌 成分分析
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 32-35
• 分类号: TB43|O484
• 语种: 中文

摘要

采用多弧离子镀技术在高速钢基体上制备了TiN/TiAlN多层薄膜,用扫描电镜及能谱仪对膜层表面形貌和成分进行了观察与分析,结果表明:随钛靶电流的增大,小液滴的尺寸不仅增大,而且形状更不规则,而无液滴处的Al/Ti原子比呈递减规律;随基体偏压的降低,小液滴有减少的趋势,但这一趋势并不明显,而无液滴采集点的Al/Ti原子比也呈递减规律;基体偏压和钛靶电流对较大尺寸的液滴的影响不大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王培芬		7	9	2.0	2.0
2	丁龙先	沈阳大学机械工程学院	12	37	4.0	5.0
3	张弛	常州星宇车灯股份有限公司生产技术部	2	4	1.0	2.0
4	张桂如	沈阳大学机械工程学院	1	4	1.0	1.0