溅射膜电极与氧化锌压敏陶瓷的界面机制研究

• 作者: 王德苗 王文婷 郑小婵
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溅射膜Cr+ Cu电极 Cr/ZnO界面作用 ZnO压敏陶瓷 欧姆接触 附着力
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 585-589
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2014.06.06

摘要

利用溅射法制备半导体陶瓷表面的电极有着广阔的产业化前景,但关于溅射膜电极与陶瓷表面的界面机制研究尚鲜有报道.本文采用磁控溅射法在ZnO压敏陶瓷表面制备了Cr+ Cu电极,通过X射线光电子能谱等技术研究分析了Cr/ZnO的界面反应及界面成分.研究结果表明:常温下Cr膜在氧化锌表面的沉积模式为混态生长模式,在Cr的初始沉积阶段,Cr价层电子与氧化锌表面存在电子转移作用,有氧化态的Cr生成;随着覆盖度的增加,电子转移逐渐减弱,最后Cr完全呈现为金属态的中性吸附.该界面反应生成的化合物对溅射膜电极的欧姆接触,附着力等性能有重要作用,而且能有效阻止电极元素Cu或Ag的纵向扩散.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑小婵	浙江大学信息科学与电子工程系	3	15	3.0	3.0