基于Sb2O3/Ag/Sb2O3叠层透明导电薄膜的自组装沟道透明薄膜晶体管

• 作者: 刘星元 张楠
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 透明导电薄膜 Sb2 O3/Ag/Sb2 O3 叠层 自组装沟道 透明薄膜晶体管
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1469-1473
• 页数: 5页
• 分类号: TN321|O484.4
• 字数: 3289字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20143512.1469

摘要

首次利用Sb2 O3/Ag/Sb2 O3( SAS)叠层透明导电薄膜作为透明电极，并采用衍射自组装沟道的方法研制了一种透明薄膜晶体管。通过一次掩模工艺，在电子束热蒸发过程中的SAS源漏电极之间制作沟道层。SAS透明导电薄膜具有优异的光电性能。研制的透明薄膜晶体管具有良好的器件性能，其迁移率高达11.36 cm2/( V·s)。整个器件在可见光范围内的平均透过率为80%。结果表明，这种透明薄膜晶体管有希望应用于低成本透明光电子产品中。