激光转镜扫描系统中自由曲面 f-θ物镜的设计

• 作者: 姚丽娟 李勇 祝世民 谢洪波
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 f-θ物镜 自由曲面 光瞳漂移 激光扫描 畸变
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 742-746
• 页数: 5页
• 分类号: TN202
• 字数: 2575字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.06.005

摘要

为了满足扫描系统高分辨率、大工作面、小型化的需要，设计了一款具有衍射受限聚焦能力的超广角f-θ物镜。在此基础上，针对五面转镜引起f-θ物镜入瞳偏移从而导致系统分辨率降低、线性畸变增大的问题进行了分析，计算得到光瞳偏移量与扫描转角存在非对称分布的非线性关系。采用在系统中引入含有奇次高阶项自由曲面校正光瞳漂移的方法，在ZEMAX软件中利用多重结构对f-θ转镜扫描系统建模优化设计，并给出了设计实例。该物镜采用远摄型结构，有效减小了扫描系统总体长度及透镜尺寸。结果表明，经优化校正后，f-θ物镜性能得到显著改善，在其扫描角度115°范围内，线性畸变小于0．5％，60％以上能量集中在半径30μm圆内。该f-θ扫描系统具有结构紧凑、分辨率高、线性畸变小等优点，有良好的适用性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢洪波	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息工程系	58	347	10.0	14.0
2	姚丽娟	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息工程系	3	20	3.0	3.0
3	李勇	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息工程系	13	78	5.0	8.0
4	祝世民	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息工程系	3	13	3.0	3.0