C含量对TiWCN复合膜微结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响

• 作者: 喻利花 董鸿志 许俊华
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 TiWCN复合膜 微结构 力学性能 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 页码范围: 1350-1356
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.11900/0412.1961.2014.00183

摘要

采用磁控溅射仪制备了一系列不同C含量的TiWCN复合膜.利用XRD,SEM,纳米压痕仪和高温摩擦磨损仪等对TiWCN复合膜的微结构、力学性能和摩擦磨损性能进行了表征.结果表明:TiWCN复合膜由fcc结构的TiWCN相和六方结构的Ti2N相组成;随着C含量增加,薄膜硬度先升高后降低,室温摩擦系数逐渐减小,而磨损率先减小后增大.当C含量为11.25％时,硬度达到最大值,为35.97 GPa;磨损率获得最小值,为1.26×10-5 mm3·N-1·m-1.当C含量为13.68％时,摩擦系数最小,为0.32.当温度低于370℃时,TiWCN复合膜的摩擦系数和磨损率小于TiWN薄膜;当温度超过370℃时,TiWCN复合膜的摩擦系数和磨损率大于TiWN薄膜.C添加到TiWN薄膜中提高了薄膜的力学性能和常温摩擦磨损性能,而薄膜的高温摩擦磨损性能并未得到改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许俊华		60	269	9.0	13.0
2	喻利花		58	246	8.0	12.0
3	董鸿志		2	1	1.0	1.0